劇情簡(jiǎn)介
碳化硅晶體是一性能優(yōu)異的半導(dǎo)材料，在信息、通、能源、航空航天等領(lǐng)域具有要應(yīng)用。春節(jié)期，中科院物理研所科研團(tuán)隊(duì)們正探索用一種新的法生長(zhǎng)碳化硅晶，研制情況如何在物理研究所的進(jìn)材料與結(jié)構(gòu)分實(shí)驗(yàn)室，陳小龍同事們正在對(duì)剛生長(zhǎng)出來(lái)的碳化晶體進(jìn)行分析研。與傳統(tǒng)的氣相不同，這個(gè)4英寸的碳化硅晶體采的是最新的液相生長(zhǎng)而成。中科物理研究所研究?陳小龍：它的點(diǎn)就是生長(zhǎng)溫度比較低的，比如在1700~1800攝氏度左右，那么生長(zhǎng)出來(lái)的體沒(méi)有微管這種的缺陷，位錯(cuò)密也相對(duì)比較低一。最重要的一個(gè)處就是它生長(zhǎng)出的晶體良率比較，就相當(dāng)于變相降低了每一片的本。相比同類(lèi)硅器件而言，碳化器件具有耐高溫耐高壓、高頻特好、體積小和重輕等優(yōu)點(diǎn)，在電汽車(chē)、光伏、軌交通、5G通信等領(lǐng)域具有重要的用價(jià)值。多年來(lái)陳小龍帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)足自主研發(fā)，從礎(chǔ)研究到應(yīng)用研，突破了生長(zhǎng)設(shè)、高質(zhì)量碳化硅體生長(zhǎng)和加工等鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了套技術(shù)路線的自可控。通過(guò)多年懈攻關(guān)，科研團(tuán)通過(guò)氣相法將碳硅晶體直徑從小10毫米不斷增大到2英寸、4英寸、6英寸和8英寸。中國(guó)科學(xué)院物研究所研究員?小龍：在2022年上半年，我們驗(yàn)室取得了8英寸碳化硅生長(zhǎng)的突，但是質(zhì)量還是夠高，還不能滿(mǎn)器件對(duì)它的需求從6寸把它發(fā)展到8寸，這樣在襯底上做出來(lái)的器件就可以降低單個(gè)件的襯底所占的本，這是一個(gè)國(guó)上發(fā)展的趨勢(shì)。耕碳化硅晶體生，陳小龍團(tuán)隊(duì)取的成果帶動(dòng)國(guó)內(nèi)20多家外延、器件和模塊相關(guān)企業(yè)成立和發(fā)展，形碳化硅完整產(chǎn)業(yè)，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)寬帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的主可控。從事碳硅晶片研發(fā)生產(chǎn)北京天科合達(dá)，源于物理研究所進(jìn)材料與結(jié)構(gòu)分實(shí)驗(yàn)室的關(guān)鍵核技術(shù)轉(zhuǎn)化，目前發(fā)展為國(guó)內(nèi)最大國(guó)際第四的導(dǎo)電化硅襯底供應(yīng)商春節(jié)期間，車(chē)間溫爐子里正在生的，就是已經(jīng)實(shí)大規(guī)模生產(chǎn)的6英寸碳化硅晶體。京天科合達(dá)半導(dǎo)股份有限公司總理?楊建：我們接到了國(guó)內(nèi)外6英寸大量的訂單和8英寸的小批量的單，這也是需要們?nèi)ネ瓿傻墓ぷ?8英寸的質(zhì)量不能比6英寸的質(zhì)量低，這也是客戶(hù)給們提出來(lái)的一個(gè)確的要求，所有生產(chǎn)設(shè)備需要7×24小時(shí)開(kāi)著，我們春節(jié)期間也不停工和停產(chǎn)，一會(huì)在工作。目前北京天科合達(dá)已國(guó)內(nèi)80多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)批量應(yīng)晶片，并大量口至歐美和日本20多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。瞄準(zhǔn)8英寸碳化硅下游市場(chǎng)，司已投入大量研經(jīng)費(fèi)，力爭(zhēng)在2023年實(shí)現(xiàn)8英寸碳化硅晶片小批生產(chǎn)和供應(yīng)。北天科合達(dá)半導(dǎo)體份有限公司總經(jīng)?楊建：在新的年里，我們會(huì)繼加大我們的研發(fā)入，希望能夠在年8英寸能夠?qū)崿F(xiàn)批量化生產(chǎn)。中科學(xué)院物理研究研究員?陳小龍2023年希望我和我的團(tuán)隊(duì)把碳硅的晶體缺陷做更低，在質(zhì)量上進(jìn)一步的突破。國(guó)地理信息產(chǎn)業(yè)會(huì)副會(huì)長(zhǎng)?中科圖總裁?邵宗有新的一年，希望們的數(shù)字地球能更多服務(wù)于老百的生產(chǎn)和生活。科院院士?中科空天信息創(chuàng)新研院院長(zhǎng)?吳一戎我們希望有更高辨率、更高精度對(duì)地觀測(cè)系統(tǒng)上，服務(wù)于國(guó)家的展。 編輯：胡一?
尼古拉·瓦尼埃
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